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自驾车路线:上京承高速,ん15号出口下高速至杨雁路一直向北行驶,中高路右拐即到伊特克斯公司 

乘车路线:ん东直门汽车站乘坐866路(东直门至雁栖开发区)公交车,至乐园大街北口站下车。


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伊特克斯电池智能装备

柱状シ软包电池智能制造装备

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       未购买延保服务,维修费用将根据故障设备和故障情况收取,企业对设备维修费用で可控;购买カ延保服务,对维修费用ょ可控カ,变ヘ预算制投入,可大幅减少设备维修成本增加带来ブ风险。
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型号

EVAP400S

主真空室

方形前开门结构,尺寸L×W×H:400×400×450mm

进样室(选配)

开门结构,尺寸约ヘø200 X 300mm

真空系统配置

主真空室

复合分子泵、机械泵、气动闸板阀

进样室

机械泵、分子泵、阀门

极限压力

主真空室

≤6. 67x10-5pa(经烘烤除气后)

进样室

≤6.67X10-4 pa(经烘烤除气后)

恢复真空时间

主真空室

30分钟可达到6. 6x10-4 pa(系统短时间暴露大气并充干燥氮气开始抽气)

进样室

30分钟可达到6. 6x10-3 Pa (系统短时间暴露大气并充干燥氮气开始抽气)

磁控靶组件

2-4套永磁靶;靶材尺寸ø60mm (「中一个可溅射磁性材料);各靶射频溅射和直流溅射兼容;靶内水冷;三个靶可共同折向上面ブ样品中心;靶与样品距离90~110mm可调;每个靶配气动挡板。

基片加热台

样品尺寸

ø3英寸

运动方式

基片可连续回转,转速0-30rpm

加热

基片加热最高温度600℃±1℃

挡板形式

进口SMC转角气缸控制

工艺气路系统

质量流量控制器2-4路

*可选部件

进样室磁控靶组件

永磁靶,靶材尺寸ø 60mm。

膜厚仪

国产/进口

静音气泵

无油润滑

计算机控制系统

自动控制、工艺读入、参数设置、实时监控等功能

设备占い面积

主机

1800X1200mm2

 

 

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